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106 $a: r
200 $a: 微系统原理与技术$9: wei xi tong yuan li yu ji shu$f: 傅建中, 胡旭晓编著
210 $a: 北京$c: 机械工业出版社$d: 2005
215 $a: 223页$c: 图$d: 24cm
330 $a: 本书系统阐述了微系统技术的基本概念、原理和特点;全面介绍了微系统设计技术、微制造技术、微系统检测技术、微系统集成与控制技术和典型微系统——芯片实验室技术。
510 $a: Microsystems Theory and Technology$z: eng
606 $a: 机电一体化$x: 系统设计
690 $a: TH-39$v: 4
701 $a: 胡旭晓$9: hu xu xiao$4: 编著
801 $a: CN$b: XIPT$c: 20050513
905 $a: XIPT$b: 01420207-11$d: TH-39$r: CNY26.00$e: 2
999 $a: acq0$b: 5$e: 20050060

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