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傅建中, 胡旭晓编著

ISBN/ISSN:7-111-15782-6

价格:CNY26.00

出版:北京 机械工业出版社 ,2005

载体形态:223页 图 ;24cm

简介:本书系统阐述了微系统技术的基本概念、原理和特点;全面介绍了微系统设计技术、微制造技术、微系统检测技术、微系统集成与控制技术和典型微系统——芯片实验室技术。

并列题名:Microsystems Theory and Technology

中图分类号:TH-39

责任者:傅建中 编著 胡旭晓 编著

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A 密集书库(长安校区) 01420210 TH-39/2 01420210 在架可借
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